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(1)肥皂泡法:在疑似點擦拭肥皂液，檢查是否有氣泡，從而區(qū)分SF6氣體是否泄漏。

優(yōu)缺點：監(jiān)測方法簡單明了，不需要昂貴的儀器設(shè)備，但監(jiān)測精度差，監(jiān)測片面，監(jiān)測周期長，不適合普測。

(2)包扎法:在疑似點將塑料包裝袋捆扎，靜放標準長度后，用定量分析儀監(jiān)測捆扎位置SF6氣體濃度值，判斷是否漏氣。

優(yōu)缺點：可完成定量分析和監(jiān)測，但很容易受到工作溫度、氣壓、塑料包裝袋體型、檢測設(shè)備等的影響。

(3)真空方法：對于未充氣的SF6氣體絕緣配電設(shè)備，機械設(shè)備各部分真空至約133Pa，靜置4h以上，監(jiān)測真空度是否降低，確定是否有漏氣。

優(yōu)缺點：主要用于出廠監(jiān)測，不能完成帶電檢測，應(yīng)用限制較大。

(4)鹵化物測定方法:利用金屬鉑的鹵素效應(yīng)來確定檢測點是否漏氣。

優(yōu)缺點：泄漏點的泄漏率、氣體濃度值等主要基本參數(shù)可定量分析計算，測量精度不高。

(5)超聲波法：當(dāng)溫度和壓力相同時，待測氣體濃度值可轉(zhuǎn)換為混合氣體平均聲速的問題。采用相位差法測量聲速，即在發(fā)送超聲波的同時開始脈沖記數(shù)，直到監(jiān)測回波信號的范圍值超過一定閾值，然后乘以記數(shù)周期獲得超聲波傳輸時間，固定傳輸距離除以此時間為聲速。

優(yōu)缺點：測量精度受振動、噪聲和超聲波在氣體介質(zhì)中衰減的影響較大。

(6)聲波法:利用SF6氣體中聲音的傳播小于大氣中的傳播特性。

優(yōu)缺點：監(jiān)測方法簡單明了，但精度很低，受SF6氣體在區(qū)域環(huán)境中的比例制約。

(7)氣敏半導(dǎo)體法:利用氣敏半導(dǎo)體吸收氣體后電阻值的變化來判斷吸收氣體的類型和濃度值，從而判斷是否有泄漏。

優(yōu)缺點：應(yīng)用歷史長，技術(shù)應(yīng)用相對性完善，監(jiān)測精度好。

(8)電化學(xué)法:用電化學(xué)氣體探測器測量電流值，間接測量被檢位置周圍區(qū)域環(huán)境中SF6氣體的濃度值。

優(yōu)缺點：測量精度高，但傳感器容易飽和，隨著測量精度的提高，零提高而增加。

(9)熱導(dǎo)探測器方法：根據(jù)不同的蒸汽，熱敏元件的電阻值變化不同，監(jiān)測電路中的電流也隨之變化。SF6蒸汽濃度值可根據(jù)電流變化值和蒸汽的熱導(dǎo)系數(shù)計算。

優(yōu)缺點：監(jiān)測結(jié)果受氣流穩(wěn)定性干擾較大，監(jiān)測結(jié)果不直觀，必須計算分析，不適合現(xiàn)場使用。

(10)示蹤法:利用SF6汽體的吸附特性，添加可被SF6分子吸附的物質(zhì)，間接測量SF6汽體的濃度值。

優(yōu)缺點：監(jiān)測高精度，必須使用輔助汽體，僅限于實驗室科學(xué)研究，不能在現(xiàn)場實際操作。

(11)濕敏傳感器方法：利用溫濕度變化和變化與泄漏速率呈正相關(guān)的特點，確認泄漏速率和嚴重性。

優(yōu)缺點：對溫度、濕度傳感器精度要求高，且無典型應(yīng)用實例，僅處于理論基礎(chǔ)研究環(huán)節(jié)。

(12)紫外線電離法：根據(jù)檢測儀器的輸入和輸出波型判斷是否有泄漏。輸出波型的滯后時間意味著泄漏的SF6量。

優(yōu)缺點：泄漏環(huán)節(jié)可根據(jù)波形直觀反映，測量精度仍有待提高。

(13)激光顯像方法：將激光發(fā)送到檢查位置，將激光反向傳輸?shù)郊す鈹z像頭顯像系統(tǒng)。SF6蒸汽體驗吸收激光能量，并利用反向傳輸激光差引起的顯像差來判斷是否泄漏。

優(yōu)缺點：屬于簡單的視覺監(jiān)測，監(jiān)測結(jié)果精度高，但激光成本較高，體型較大，不適合現(xiàn)場監(jiān)測。

(14)紅外成像方法：SF6蒸汽的使用比空氣對指定波段的紅外線具有更強的吸收選擇后，應(yīng)用于散光成像技術(shù)進行成像。當(dāng)SF6汽體出現(xiàn)在監(jiān)測范圍內(nèi)時，由于SF6汽體對10.3~10.7μm波段的紅外光具有較強的吸收功能，因此由于吸收功能，反射到檢測儀器的紅外能量明顯減弱，SF6汽體在分析儀屏幕上是否漏氣。